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三十万级无尘车间作用:

洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度 ,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造 ,此空间我们称之为「洁净室」.


世界各国均有自定规格 ,但普遍还是用美国联邦标准209为多 ,以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。


209E与209D等最大之不同在于209E表示单位增加了公制单位 ,洁净室等级以‵M′字头表示 ,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推 ,配合国际公制单位之标准化 ,M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示 ,取指数为之 ,若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间 ,则以1.5、2.5、3.5….表示。

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